с программируемой скоростью at a programmed speed
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стехиометрия (состав) пленки film stoichiometry
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сверхтонкий слой hyperfine layer
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сверхнизкая шероховатость поверхности extremely low surface roughness
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сжигать органические загрязнения burnt out organic contaminants
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система слоев пленочной инкапсуляции system of film encapsulation layers
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сканер линейного типа straight line scanner
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скорость нанесения deposition rate
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составом смеси (газов) blend composition
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эмиттер электронов charge neutralizer
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энергия ионов ion energy
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устранять статические заряды eliminate static charges
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установка подложки substrate installation
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устойчивость к влажной среде resistance in humid environment
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ускоритель ионов ion accelerator
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ускоритель ионов с анодным слоем ion accelerator with anode layer
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уровень генерации микрочастиц particles generation level
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удалять неорганические частицы remove inorganic particles
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шероховатость поверхности surface roughness
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травить etch
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равномерность толщины пленки uniformity of film thickness
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равномерность по толщине thickness consistence
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робот кластерной системы cluster system robot
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резистивное испарение resistive evaporation
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poka-yoke Пока-ёке (Poka-yoke) - "дуракоустойчивость" - специальное устройство или метод, благодаря которому дефекты просто не образуются
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барьер от проникновения кислорода и влаги barrier to oxygen and moisture ingress
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бомбардировка электронами electron bombardment
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встраиваемость в производственные системы integration in the production systems
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высокоточная кластерная система high precision cluster system
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